Моделювання та апроксимація залежності струму електронної гармати високовольтного тліючого разряду від напруги на обмотці електромагнітного натікача як елемента газодинамічної системи керування

Igor V. Melnyk, Borys A. Tuhai, Serhii B. Tuhai

Анотація


Розглянуто спосіб числового розрахунку залежності струму електронної гармати високовольтного тліючого розряду від параметрів електромагнітного натікача як елемента газодинамічної системи керування. Знайдено аналітичне співвідношення, за допомогою якого можна з високою точністю апроксимувати залежність струму гармати від напруги на обмотці електромагнітного натікача. Отримані результати становлять інтерес для проектувальників електронно-променевого технологічного обладнання.

Ключові слова


електронна гармата високовольтного тліючого розряду;газодинамічна система керування струмом розряду;електромагнітний натікач;дозувальний пристрій

Повний текст:

PDF

Посилання


Novikov A.A. Istochniki elektronov vysokovol'tnogo tlejuschego razrjada s anodnoj plazmoj / A.A. Novikov. — M.: Energoatomizdat, 1983. — 96 s.

Plazmennye protsessy v tehnologicheskih elektronnyh pushkah / M.A. Zav'jalov, Ju.E. Krejndel', A.A. Novikov, L.P. Shanturin. — M.: Atomizdat, 1989. — 256 s.

Ladohin S.V. Elektronno-luchevaja plavka v litejnom proizvodstve / S.V. Ladohin, N.I. Levitskij, V.B. Chernnjavskij i dr. — K.: Stal', 2007. — 605 s.

Feinaeugle P. A new generation of plasma-based electron beam sources with high power density as a novel tool for high-rate PVD, Society of Vacuum Coaters / P. Feinaeugle, G. Mattausch, S. Schmidt, F.H. Roegner // 54-th Annual Technical Conference Proceedings, Chicago. — 2011. — P. 202–209.

Mattausch G. Gas discharge electron sources – proven and novel tools for thin-film technologies / G. Mattausch, B. Zimmermann, F. Fietzke etc. // Elektrotechnica and Electronica (E+E). —2014. — 49, № 5 – 6. — P. 183–195.

Mel'nik I.V. Approksimatsija vol't-ampernyh harakteristik tehnologicheskih istochnikov elektronov vysokovol'tnogo tlejuschego razrjada s ispol'zovaniem sredstv sistemy MatLab / I.V. Mel'nik // Vestn. Hers. nats. tehn. un-ta. — Herson, 2009. — Vyp. 2 (35). — S. 299–305.

Denbnovets'kyj S.V. Modeljuvannja protsesu avtomatychnoho keruvannja strumom hazorozrjadnoho elektropromenevoho nahrivacha / S.V. Denbnovets'kyj, K.O. Kostjuchenko, V.I. Mel'nyk y dr. // Elektronika i svjaz'. —2014. — 9, № 22. — S. 15 – 17.

Denbnovetsky S.V. Model of control of glow discharge electron gun current for microelectronics production applications / S.V. Denbnovetsky, V.I. Melnyk, I.V. Melnyk, B.A. Tugay // Proceedings of SPIE. Sixth International Conference on Material Science and Material Properties for Infrared Optoelectronics. — 2013. — Vol. 5065. — P. 64–76.

Mel'nik I.V. Issledovanie propusknoj sposobnosti dozirujuschego ustrojstva natekatelja gaza dlja gazorazrjadnoj elektronnoj pushki / I.V. Mel'nik, S.B. Tugaj // Elektronika i svjaz', № 5 (64), 2011. — S. 25–30.

Pipko A.I. Konstruirovanie i raschet vakuumnyh sistem / A.I. Pipko, V.Ja. Pliskovskij, E.A.Penchko. — M.: Energija, 1979. — 504 s.

Gejntse V. Vvedenie v vakuumnuju tehniku: v 2 t. / V.M. Gejntse. — M.–L.: Gosenergoizdat, 1960. — T. 1. Fizicheskie osnovy vakuumnoj tehniki. — 511 s.

Tjagunov G.A. Osnovy rascheta vakuumnyh sistem / G.A. Tjagunov. — M.–L.: Gosenergoizdat, 1948. — 148 s.

Vasil'ev V.P. Chislennye metody reshenija ekstremal'nyh zadach / V.P. Vasil'ev. — M.: Nauka, 1988. — 552 s.

Bronshtejn I.N. Spravochnik po matematike dlja inzhenerov i uchaschihsja vuzov / I.N. Bronshtejn, K.A. Semendjaev. — M.: Nauka, Gl. red. Fiziko-matemat. lit-ry, 1986. — 723 s.


Пристатейна бібліографія ГОСТ


1. Новиков А.А. Источники электронов высоковольтного тлеющего разряда с анодной плазмой / А.А. Новиков. — М.: Энергоатомиздат, 1983. — 96 с.

2. Плазменные процессы в технологических электронных пушках / М.А. Завьялов, Ю.Е. Крейндель, А.А. Новиков, Л.П. Шантурин. — М.: Атомиздат, 1989. — 256 с.

3. Ладохин С.В. Электронно-лучевая плавка в литейном производстве / С.В. Ладохин, Н.И. Левитский, В.Б. Черннявский и др. — К.: Сталь, 2007. — 605 с.

4. Feinaeugle P. A new generation of plasma-based electron beam sources with high power density as a novel tool for high-rate PVD, Society of Vacuum Coaters / P. Feinaeugle, G. Mattausch, S. Schmidt, F.H. Roegner // 54-th Annual Technical Conference Proceedings, Chicago. — 2011. — P. 202–209.

5. Mattausch G. Gas discharge electron sources – proven and novel tools for thin-film technologies / G. Mattausch, B. Zimmermann, F. Fietzke etc. // Elektrotechnica and Electronica (E+E). —2014. — 49, № 5 – 6. — P. 183–195.

6. Мельник И.В. Аппроксимация вольт-амперных характеристик технологических источников электронов высоковольтного тлеющего разряда с использованием средств системы MatLab / И.В. Мельник // Вестн. Херс. нац. техн. ун-та. — Херсон, 2009. — Вып. 2 (35). — С. 299–305.

7. Денбновецький С.В. Моделювання процесу автоматичного керування струмом газорозрядного електропроменевого нагрівача / С.В. Денбновецький, К.О. Костюченко, В.І. Мельник и др. // Электроника и связь. —2014. — 9, № 22. — С. 15 – 17.

8. Denbnovetsky S.V. Model of control of glow discharge electron gun current for microelectronics production applications / S.V. Denbnovetsky, V.I. Melnyk, I.V. Melnyk, B.A. Tugay // Proceedings of SPIE. Sixth International Conference on Material Science and Material Properties for Infrared Optoelectronics. — 2013. — Vol. 5065. — P. 64–76.

9. Мельник И.В. Исследование пропускной способности дозирующего устройства натекателя газа для газоразрядной электронной пушки / И.В. Мельник, С.Б. Tугай // Электроника и связь, № 5 (64), 2011. — С. 25–30.

10. Пипко А.И. Конструирование и расчет вакуумных систем / А.И. Пипко, В.Я. Плисковский, Е.А.Пенчко. — М.: Энергия, 1979. — 504 с.

11. Гейнце В. Введение в вакуумную технику: в 2 т. / В.М. Гейнце. — М.–Л.: Госэнергоиздат, 1960. — Т. 1. Физические основы вакуумной техники. — 511 с.

12. Тягунов Г.А. Основы расчета вакуумных систем / Г.А. Тягунов. — М.–Л.: Госэнергоиздат, 1948. — 148 с.

13. Васильев В.П. Численные методы решения экстремальных задач / В.П. Васильев. — М.: Наука, 1988. — 552 с.

14. Бронштейн И.Н. Справочник по математике для инженеров и учащихся вузов / И.Н. Бронштейн, К.А. Семендяев. — М.: Наука, Гл. ред. Физико-математ. лит-ры, 1986. — 723 с.

 





DOI: https://doi.org/10.20535/SRIT.2308-8893.2016.3.01

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.